11月18日—20日,備受矚目的第二十一屆中國(guó)國(guó)際半導(dǎo)體博覽會(huì)(IC China 2024)在北京國(guó)家會(huì)議中心盛大舉行。作為半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的重要盛會(huì),此次博覽會(huì)聚焦半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈、供應(yīng)鏈及超大規(guī)模應(yīng)用市場(chǎng),展現(xiàn)半導(dǎo)體行業(yè)的發(fā)展趨勢(shì)和技術(shù)創(chuàng)新成果,吸引了眾多國(guó)內(nèi)外知名企業(yè)和專(zhuān)業(yè)人士的積極參與。其中,寧波博威合金材料股份有限公司(簡(jiǎn)稱(chēng)“博威合金”,601137.SH)作為新材料領(lǐng)域的領(lǐng)軍企業(yè),攜其半導(dǎo)體靶材背板用材亮相T-041展位,展示了其在半導(dǎo)體領(lǐng)域的新成果和技術(shù)創(chuàng)新。
半導(dǎo)體靶材背板材料在半導(dǎo)體芯片制造中扮演重要角色。靶材是磁控濺射沉積制備半導(dǎo)體晶圓、顯示面板、太陽(yáng)能電池等產(chǎn)品用電子薄膜的核心材料,而靶材背板則是靶材不可或缺的構(gòu)成部分,對(duì)靶坯材料起到固定和保護(hù)的作用。靶材背板材料質(zhì)量與性能直接關(guān)乎靶材整體性能表現(xiàn)與使用穩(wěn)定性,進(jìn)而影響電子薄膜的生產(chǎn)效率及產(chǎn)品性能。博威合金T-041展位上,精心研發(fā)的PWHC、PlugMax等半導(dǎo)體行業(yè)用材方案,以高性能、高穩(wěn)定性和優(yōu)異的加工性能,吸引了眾多業(yè)內(nèi)人士的關(guān)注。
博威合金PWHC系列,擁有良好的導(dǎo)電和導(dǎo)熱性能,確保了靶材在高電壓、高真空的磁控濺射工作環(huán)境中均勻受熱,不變形,不開(kāi)裂,穩(wěn)定可靠地完成了電子薄膜的沉積制備。如PWHC450優(yōu)異的導(dǎo)熱性保證了靶材的高效散熱,優(yōu)良的強(qiáng)度和韌性則起到了保護(hù)和加固靶坯材料的作用,顯著提高了靶坯材料的使用壽命和穩(wěn)定性;PWHC850的高導(dǎo)電與高熱導(dǎo),可加速靶材背板散熱,其出色的強(qiáng)度和良好的加工性能更是符合了絕大部分靶材背板的應(yīng)用需求;PWHC985優(yōu)異的熱導(dǎo)率能確保熱量能夠快速傳遞,是服務(wù)器散熱部件等產(chǎn)品的理想選材。
PlugMax系列擁有優(yōu)異的強(qiáng)度和耐磨耐腐蝕性能。PlugMax22制造的檢測(cè)探針,不僅確保信號(hào)傳輸穩(wěn)定,且探針尖端不易磨損變形,能充分滿(mǎn)足半導(dǎo)體領(lǐng)域探針檢測(cè)需具備的性能要求。此外,博威合金4N5以上高純銅,具有純度高、晶粒均勻細(xì)小等特性,用于制造蒸鍍材料和濺射靶材,確保沉積制造的電子薄膜均勻度高,滿(mǎn)足了半導(dǎo)體、顯示面板等各類(lèi)高端制造的用料需求。
作為新材料領(lǐng)域的佼佼者,博威合金擁有強(qiáng)大的研發(fā)團(tuán)隊(duì)和先進(jìn)的生產(chǎn)工藝。其半導(dǎo)體靶材背板用材方案采用了先進(jìn)的合金材料和制造工藝,確保了產(chǎn)品的質(zhì)量和性能。其系列產(chǎn)品具有出色的性能表現(xiàn),提高了半導(dǎo)體器件的性能和可靠性,更為半導(dǎo)體制造領(lǐng)域帶來(lái)了新的解決方案和思路。
隨著全球科技產(chǎn)業(yè)的飛速發(fā)展,半導(dǎo)體作為信息技術(shù)的核心,其重要性日益凸顯。中國(guó)作為全球最大的半導(dǎo)體消費(fèi)國(guó)之一,在半導(dǎo)體設(shè)備的國(guó)產(chǎn)化道路上取得了顯著進(jìn)展。參加中國(guó)半導(dǎo)體博覽會(huì),博威合金不僅展示了其技術(shù)實(shí)力,更是凸顯了半導(dǎo)體材料國(guó)產(chǎn)化的持續(xù)發(fā)展。展望未來(lái),博威合金強(qiáng)調(diào),將繼續(xù)堅(jiān)持創(chuàng)新驅(qū)動(dòng)發(fā)展戰(zhàn)略,加快培育“新質(zhì)生產(chǎn)力”,推動(dòng)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的創(chuàng)新升級(jí)和高質(zhì)量發(fā)展,為全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)做出更大貢獻(xiàn)。
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